随着臭氧技术在处理方面的广泛应用，人们认识到，臭氧技术的关键在于它与水中污染物的反应机理，这方面目前尚未有明确的定论，仍在进一步研究当中。

目前臭氧发生器的发展趋势是体积越来越小，能耗越来越低，应用也越来越广，由于臭氧的强氧化性、强腐蚀性及有有毒性，所以处理工艺元件的材料必须用高耐腐蚀抗氧化材料，这就使得臭氧处理成本增高，不利于臭氧技术的广泛推广，因此如何降低臭氧技术的成本成为目前臭氧技术研究的主要工作之一。

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