有机废气催化剂采用低温催化燃烧法，先通过热交换器预热到200~400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，碳氢化合物的分子和混合气体中的氧分子分别被吸附在催化剂的表明而活化。由于表面吸附降低了反应的活化能，碳氢碳氢化合物与氧分子在较低的温度下迅速氧化，产生二氧化碳和水。和直接燃烧法相比，温度低、节能、净化率高、操作方便。但是催化剂易中毒、不耐高温，而且投资较大。适用于高温或高浓度的有机废气。

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